工作职责

1、保障EBL电子束光刻系统相关工艺的稳定性； 2、负责EBL电子束光刻系统相关工艺的优化与开发； 3、电子束光刻机设备的技术指标和方案验证。

任职资格

1、熟悉半导体工艺流程，了解工艺评估流程，DOE实验设计，工艺开发； 2、熟悉电子束光刻工艺及，电子束光刻机及周边设备； 3、金属及非金属掩模版制作； 4、熟悉电子束光刻胶特性； 5、相关专业本科以上学历，3年以上相关工作经验。